RTP-Siliziumoxide und -Siliziumoxinitride für planare und vertikale Feld-Effekt-Transistoren
Andreas Stadler
RTP-Siliziumoxide und -Siliziumoxinitride für planare und vertikale Feld-Effekt-Transistoren
1. Auflage
200 Seiten
Paperback
ISBN : 978-3-86130-155-4
40,40 €
| Gewicht | 278,00000000 g |
|---|---|
| Maße | 14,7 × 20,9 cm |
