Der Mikrosystemtechnik und mit ihr den Bereichen Mikrooptik und -mechanik wird ein ähnliches wirtschaftliches Wachstum vorausgesagt, wie es bei der Mikroelektronik bereits eingetreten ist. Das Spritzgießverfahren stellt eine Möglichkeit das, mikrostrukturierte Bauteile in großer Anzahl für Anwendungen in der Mikrooptik und -mechanik reproduzierbar aus Kunststoffen herzustellen. In dieser Arbeit wird das Spritzgießen mikrostrukturierter Bauteile aus Thermoplasten, hierbei handelt es sich um makroskopische Bauteile mit mikrostrukturierten Bereichen, analysiert. Die wesentlichen Themenbereiche sind hierbei:
- Gegenüberstellung unterschiedlicher Spritzgießmaschinen für Kleinstteile und Reproduzierbarkeitsuntersuchungen
- Aufbau und Beschreibung der für das Spritzgießen mikrostrukturierter Bauteile erforderlichen Peripherie an der Anlage wie Vakuumtechnik, Reinraumtechnik, Reinigungstechnik und Auswertung
- Beschreibung des für dieses Sonderverfahren des Spritzgießens erforderlichen Aufbaus von Spritzgießwerkzeugen
- Darstellung der unterschiedlichen Fertigungsmöglichkeiten für mikrostrukturierte Kavitäten und Beurteilung ihrer Eignung für den Spritzgießprozeß
- Systematische verfahrenstechnische Untersuchungen
Die kleinsten abgeformten Strukturen sind beispielsweise 2,5 µm breit bei einer Höhe von 20 µm. Hierbei ist das Aspektverhältnis von 8 realisiert worden.
