Streulichtbasierte Messsysteme charakterisieren Oberflächen und lokalisieren Strukturdefekte. Sie sind kompakt, robust und vergleichsweise kostengünstig. Aufgrund kurzer Messdaten-Erfassungszeiten und hoher Messdaten-Erfassungsraten besitzen sie ein großes Potenzial für den fertigungsprozessnahen (in-situ) und den In-Prozess-Einsatz. Verschiedene, auf Speckle-Korrelationsverfahren beruhende Streulicht-Messverfahren für Rauheiten und Oberflächendefekte im Nanometer-und Mikrometerbereich werden erläutert, modelliert und experimentell erprobt.
Einleitung
Das 21. Jahrhundert wird aus wissenschaftlicher Sicht wesentlich durch die Photonik gekennzeichnet. Diese Technologie befasst sich mit der Erzeugung und Beeinflussung von Licht und anderen Strahlungsenergieformen, deren kleinste Einheit das Photon ist. Anwendungen photonischer Technologien betreffen in vielfältiger Weise beispielsweise die Bereiche Energieumsetzung, Detektion, Kommunikation und Informationsverarbeitung. Neben der Photonik ist die Nanotechnologie zu nennen. Diese Sparte der Ingenieurwissenschaften befasst sich damit, Strukturen mit geometrischen Abmessungen unterhalb von 100 nm zu gestalten, indem einzelne Atome oder Moleküle manipuliert werden. Auf diesem Gebiet hat in den letzten Jahren eine rasante Entwicklung stattgefunden. Speziell im Bereich der Chip- und der Sensorenherstellung ist die Nanotechnologie industriell im Einsatz. In den nächsten Jahren ist zu erwarten, dass sich diese Entwicklung fortsetzt und neue Herstellungsverfahren aus den Laboren in industrielle Anwendungen umgesetzt werden. Dabei sinken die Abmessungen der Bauteile auf immer kleinere Werte und die erforderliche Herstellungsgenauigkeit steigt entsprechend an …