Technologische Strategien für die großflächige, homogene Beschichtung von Polycarbonat mittels Mikrowellenplasmapolymerisation

Die Substitution von Glas durch transparente Kunststoffe erfordert einen zusätzlichen Kratzschutz des Kunststoffes. Ein geeignetes Verfahren zur Aufbringung von Kratzschutzschichten ist die mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation. Die Beschichtung großflächiger Bauteile ist jedoch aufgrund der Frequenz der eingesetzten Strahlung problematisch. In dieser Arbeit wurde eine Beschichtungsanlage zur Abscheidung von Schichten über einer Länge von 1,8 m entwickelt. Das verwendete Plasmaquellenkonzept (Duo-Plasmaline-Konzept) beruht auf der Basis einer koaxialen Wellenleitung und wird sowohl durch das Plasma als auch durch die abgeschiedenen Schichten charakterisiert. Die Homogenität der Plasma- als auch der Schichteigenschaften steht dabei im Vordergrund der Untersuchungen. Da neben der Homogenität des Plasmas eine gleichmäßige Gas- bzw. Monomerzufuhr für eine homogene, großflächige Beschichtung notwendig ist, wird ein zur Hochskalierung geeignetes Gaseinspeisungssystem konzipiert und charakterisiert. Neben der Anlagentechnik hat auch die Oberflächenstruktur des Substrates Einfluß auf die Eigenschaften der Beschichtung. Es wurde daher das Schichtwachstum plasmapolymerisierter silizionorganischer Schichten an definierten, mikrometergroßen Störstellen untersucht.